اجزای آلیاژ سنگین تنگستن (WHA) برای کاشت یون
به طور کلی، تنگستن و مولیبدن مواد حیاتی برای اجزای مورد استفاده در سیستم‌های کاشت یون، به ویژه در مسیر پرتو هستند. این مواد به دلیل توانایی آنها در مقاومت در برابر شرایط سخت کاشت یون، از جمله دماهای بالا، میدان های مغناطیسی قوی و گازهای فرآیند تهاجمی انتخاب شده اند.
چرا تنگستن و مولیبدن؟
نقاط ذوب بالا:
تنگستن و مولیبدن هر دو دارای نقطه ذوب بسیار بالایی هستند و به آنها اجازه می دهد تا دماهای شدید تولید شده در طول کاشت یون را تحمل کنند.
مقاومت در برابر خوردگی:
آنها مقاومت بسیار خوبی در برابر خوردگی از خود نشان می دهند، که وقتی در معرض گازهای واکنش پذیر و محصولات جانبی فرآیند کاشت یون قرار می گیرند، حیاتی است.
استحکام بالا و هدایت حرارتی:
این خواص برای حفظ یکپارچگی ساختاری اجزا و اتلاف موثر گرما در حین کار ضروری است.
خلوص بالا:
مواد با خلوص بالا آلودگی پرتو یونی و مواد کاشته شده را به حداقل می رساند.
اجزای کاشت یون معمولی ساخته شده از تنگستن و مولیبدن:
اتاق ها:
محفظه‌های خلاء که منبع یون و ناحیه هدف را در خود جای می‌دهند اغلب از تنگستن، مولیبدن یا آلیاژهای آنها ساخته شده‌اند.
رشته ها:
در منابع یونی، رشته های ساخته شده از تنگستن یا آلیاژهای تنگستن برای تولید پلاسمایی که یون ها از آن استخراج می شوند، استفاده می شود.
شکاف های قوسی:
این اجزا به شکل دهی و هدایت پرتو یون کمک می کنند و اغلب از تنگستن یا مولیبدن ساخته می شوند.
نگهدارنده ها و کاتدها:
نگهدارنده ها و کاتدهای مختلف در منبع یون و مسیر پرتو از این فلزات نسوز ساخته می شوند.
قطعات یدکی:
قطعات تنگستن و مولیبدن نیز برای قطعات یدکی مختلف و جایگزینی در ایمپلنت استفاده می شود.
اجزای Beamline:
اجزای درون خط پرتو، مانند محدودکننده‌های پرتو و روزنه‌ها، ممکن است از تنگستن یا مولیبدن ساخته شوند.
نمونه هایی از شرکت هایی که اجزای کاشت یون را ارائه می دهند:
با این حال، آلیاژهای سنگین تنگستن (WHA)، به ویژه ترکیبات W-Ni-Fe و W-Ni-Cu، به طور گسترده در سیستم‌های کاشت یون به دلیل چگالی استثنایی، ویژگی‌های محافظ تشعشع، و پایداری حرارتی استفاده می‌شوند. این آلیاژها برای قطعاتی که به جرم، دوام و مقاومت بالا در برابر بمباران یونی نیاز دارند ایده آل هستند.
خواص کلیدی برای کاربردهای کاشت یون
✔ چگالی بالا (17-18.5 گرم بر سانتی متر³) - برای جلوگیری از پراکندگی یون و بهبود کنترل پرتو موثر است.
✔ محافظ تابش عالی - انتشار اشعه ایکس- و الکترون ثانویه را به حداقل می‌رساند.
✔ نقطه ذوب بالا و پایداری حرارتی - در برابر بمباران یونی با انرژی بالا بدون تغییر شکل مقاومت می کند.
✔ ماشینکاری خوب - می توان با دقت{0}}در اشکال پیچیده (در مقایسه با تنگستن خالص) ماشین کاری کرد.
✔ خروج گاز کم - برای حفظ شرایط خلاء بالا در کاشت یون بسیار مهم است.
اجزای رایج WHA در کاشت یون
دریچه های پرتو و دیافراگم - پرتوهای یونی را کنترل و شکل می دهد.
فنجان های فارادی - جریان پرتو یونی را به دقت اندازه گیری می کند.
بلوک های محافظ و کولیماتورها - پراکندگی یون های ناخواسته را کاهش می دهد.
اجزای جابجایی ویفر - قطعات بادوام برای پردازش نیمه هادی.
اجزای عایق - استحکام دی الکتریک بالا در صورت نیاز.
چرا WHA را به تنگستن خالص انتخاب کنید؟
ماشینکاری بهتر (به دلیل فاز بایندر Ni/Fe/Cu).
چقرمگی شکست بالاتر (ترد کمتر از W خالص).
مقرون به صرفه-برای هندسه های پیچیده.
نمرات و سفارشی سازی موجود
درجات استاندارد: W90NiFe، W93NiFe، W95NiFe، W97NiFe
ترکیبات و ابعاد سفارشی (میله ها، صفحات، قطعات ماشینکاری شده)
سطوح روکش: صیقلی، آسیاب شده یا روکش شده برای عملکرد بهتر.
در صورت هرگونه سؤال احتمالی، لطفاً با ما تماس بگیرید: info@yitechtrading.com