اهداف کندوپاش را می توان با توجه به شکل آنها به اهداف مسطح و اهداف دوار تقسیم کرد. اهداف مسطح اهداف بلند، اهداف مربعی یا اهداف گرد با ضخامت معین و غیره هستند که با بستن یک صفحه هدف و یک صفحه پشتی ساخته می شوند. در حین کندوپاش، قسمت خالی هدف و زیرلایه با یکدیگر موازی هستند و یک میدان الکترومغناطیسی بین خالی هدف و زیرلایه تشکیل می شود. اهداف دوار اهداف لولهای هستند و یک میدان الکترومغناطیسی به سمت زیرلایه در طول کندوپاش تشکیل میشود. اهداف مسطح همه کاره تر هستند، اما نرخ بهره برداری کمتری دارند. اهداف دوار دارای نرخ استفاده بالاتر، اما یکنواختی پوشش ضعیف هستند.
مزایای اهداف چرخشی
1. اهداف دوار استفاده از مواد بالاتری دارند
اهداف چرخان می توانند به طور مساوی سطح هدف را در طول چرخش مصرف کنند، در نتیجه استفاده از مواد هدف را بهبود می بخشند، که معمولاً می تواند به 70٪ - 90٪ برسد. با این حال، از آنجایی که تنها یک طرف ثابت هدف مسطح درگیر کندوپاش است، در حین استفاده، «شیارها» یا «گودالها» تشکیل میشوند که منجر به مصرف نابرابر مواد میشود و نرخ استفاده از مواد به طور کلی 30 تا 40 درصد است. برای اهداف گران قیمت (مانند فلزات گرانبها یا مواد خاکی کمیاب)، اهداف چرخشی می توانند هزینه ها را به میزان قابل توجهی کاهش داده و منافع اقتصادی را بهبود بخشند.
2. اهداف دوار یکنواختی کندوپاش بهتری دارند
اهداف دوار در طول عملیات به طور مداوم می چرخند، به طوری که هر موقعیت روی سطح هدف به طور یکنواخت در معرض پلاسما قرار می گیرد و سرعت کندوپاش یکنواخت تری را تشکیل می دهد. این دارای مزایای آشکار برای برنامه های کاربردی با الزامات بالا برای یکنواختی فیلم (مانند نمایشگرها و فرآیندهای نیمه هادی) است. اهداف مسطح در معرض ضخامت ناهموار لایه به دلیل- کندوپاش بیش از حد موضعی، به ویژه در بسترهای- بزرگ یا تولید مداوم هستند.
3. اهداف دوار عمر مفید بیشتری دارند
از آنجایی که اهداف دوار مواد یکنواخت تری مصرف می کنند، عمر مفید آنها معمولا طولانی تر از اهداف مسطح است. این بدان معنی است که در شرایط کاری یکسان، فرکانس جایگزینی هدف دوار کمتر است، که باعث کاهش زمان خرابی تجهیزات و بهبود راندمان تولید می شود. برای برخی از فرآیندهای تولید مستمر، مانند-پوشش سطح وسیع و روکش رول-به-رول، هدف چرخشی میتواند چرخه تولید را به طور قابل توجهی گسترش دهد و هزینههای نگهداری را کاهش دهد.
4. اهداف دوار کیفیت فیلم بالاتری دارند
لایه فیلم پراکنده شده توسط هدف دوار متراکم تر و یکنواخت تر است، که برای برخی از برنامه های کاربردی با الزامات بسیار بالا برای کیفیت فیلم (مانند دستگاه های الکترونیکی پیشرفته و ساخت دستگاه های نیمه هادی) مناسب است. این به این دلیل است که هدف دوار می تواند به طور موثری عیوب ناشی از کندوپاش ناهموار روی سطح هدف را کاهش دهد و کیفیت و قوام لایه فیلم را بهبود بخشد.
نتیجه گیری
در مقایسه با اهداف مسطح، اهداف چرخشی استفاده از مواد بالاتر، عمر مفید طولانیتر، اثر کندوپاش یکنواختتر، و سازگاری با تولید-وسعت و حجم{1} زیاد دارند. این امر باعث میشود که اهداف دوار در زمینه رسوبدهی لایههای نازک مدرن، بهویژه در-روکشهای بزرگ، تولید مداوم، و ساخت دستگاههای الکترونیکی پیشرفته- انتخاب مهمی باشند.